製膜装置１　2チャンバ式薄膜作製装置
（ホットワイヤ，スパッタ）

製膜装置２

4　RIE（Reactive Ion Etching)装置

a-IGZOのギャップ内準位

波長変換評価システム

高周波および低周波CV評価装置

ホール効果測定装置

CFD (Computational Fluid Dynamics)法による
ガス流体シミュレーション

5元スパッタ装置

光学式多層膜厚評価装置

ソーラーシミュレータ

加熱プレス機　（5MPa、300℃）

窒素置換型オーブン　(40〜300℃)

マッフル炉　(〜1200℃)

クリーンドラフト

純水製造装置

スペクトラムアナライザ(0.35μm〜1.75μm）

抵抗率計(10^-3〜10^-7Ωcｍ)

抵抗加熱蒸着機

マスクアライナー

ガス流体シミュレータ

熱解析シミュレータ

デバイスシミュレータ

半導体パラメータアナライザ

ADVANTEST R6245

クリーンベンチ

顕微鏡-2

UV-VIS絶対反射付き分光器

PYS-IPES